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陶瓷壓力傳感器有多講究工藝?

2908次閱讀

行業新聞

2021-04-12 08:33:28

來源:無錫阿爾法精密機械制造有限公司

  由傳感器專家網創建的微信社群——【傳感器智匯圈】,匯聚了大批傳感器業內人士,并每天就各種傳感器話題進行熱烈討論,迸射出閃耀的知識火花。于是,我們把社群里極具價值的精彩對話整理成文,推出了專題欄目“社群智匯”。
  本次話題是“陶瓷壓力傳感器”。壓力傳感器技術,比拼的不是多么先進的電路設計,更多的是工藝手段的深究打磨求索。
   傳感器專家網-楊軍:
  過去的一周多我們的話題都沒有離開慣性導航,也該換個話題了。
  聊國內的傳感器市場,繞不開的話題一定是壓力變送器,而作為壓力變送器的核心,即壓力傳感器芯體則是該話題的重中之重,上周有群友提出,希望聊一聊“壓阻式陶瓷壓力傳感器”的話題,那我們今天就這個陶瓷壓力傳感器的話題再展開,希望大家一起來探討陶瓷壓力傳感器的那點事兒,包括國內水平,市場狀況,發展趨勢,該細分產品領域的市場發展機會等等。
  目前【傳感器智匯圈】社群已經快速成長至近4000人,群里從事壓力傳感器的朋友行家很多,我負責拋磚引玉,歡迎各位發表自己的高見。
  陶瓷壓力傳感器
傳感器專家網-楊軍:
  陶瓷壓力傳感器,顧名思義,是利用溫度穩定性和時間穩定性都更好、且能夠抗腐蝕的陶瓷作為材料來制作的壓力傳感器,可以實現更寬的工作溫度范圍(如-40~135℃),同時,保障更好的精度和電氣絕緣性。
  陶瓷壓力傳感器不用液體(如硅油)介質來傳遞壓力,利用壓力膜片直接感受壓力,沒有密封泄露的問題,厚膜電阻構成的惠斯通電橋印刷在陶瓷膜片的背面,利用陶瓷膜片良好的彈性,壓力直接作用在高純度的陶瓷膜片前表面,產生微形變,印刷在背面的惠斯通電橋壓敏電阻產生壓敏效應,輸出與壓力成正比的線性電壓信號,從而感知壓力變化。
  timg(2).jpg
   張***:
  陶瓷壓力傳感器的敏感元件部分也是陶瓷材料么?還是只是用陶瓷做封裝?
   后***面:
  和擴散硅一樣的道理,單晶硅和陶瓷分別做電路載體,所不同的是材料和工藝不一樣。
   傳感器專家網-楊軍:
  說得對。
  抓住要點了,壓力傳感器的性能與電路載體的性能密切相關。
   張***:
  學習了,謝謝。
   傳感器專家網-楊軍:
  壓力傳感器技術,并不是多么先進的電路設計的比拼,更多的是工藝手段的深究打磨求索,是工匠精神的更佳體現,包括各種材料性能的深入理解和應用,每一個工藝細節的突破,都可能成就一家偉大的公司。比如,僅僅將陶瓷膜片與襯底粘合的玻璃微熔技術,就成就了TE的前身精量電子這家傳感器公司。
   周***定:
  金屬濺射薄膜壓力傳感器也是原理很簡單,但要做好真不容易!
   楊***:
  擴散硅、單晶硅、陶瓷哪個精度高?
   傳感器專家網-楊軍:
  精度跟載體材料沒有直接關系。
   莫***:
  其實陶瓷壓力傳感器對工藝設備要求挺高的,從高精度厚膜絲印機、激光調阻機國內都沒成熟的。
  陶瓷壓力傳感器成敗在于工藝細節。
   王***c:
  材料成型也很講究。
   莫***:
  激光調阻設備進口的在200萬左右一臺,絲印機如DEK的也要幾十萬以上。
   莫***:
  而且如果不能實現自動化還會出現不良率不穩的情況。
   傳感器專家網-楊軍:
  陶瓷壓力傳感器具有便于批量化生產的特性,其主要特點是敏感堅固的陶瓷感應膜片、背面印刷的惠斯通電橋壓敏電阻便于進行零點誤差、滿量程誤差等指標參數的激光修正標定,對工藝設備沒有太高要求,抗腐蝕、抗磨損,抗沖擊抗震動,擁有很寬的工作溫度范圍,精度及穩定性能卓越,便于小尺寸封裝。鑒于這些優點和高性價比,許多用戶開始用陶瓷壓力傳感器來替代傳統的擴散硅壓力傳感器。
  在對高溫、腐蝕、穩定性和可靠性要求較高的工業過程控制,石油化工、液壓閥門、醫療器械、液壓與氣動、傳動控制等眾多領域,陶瓷壓力傳感器有著廣泛的應用發展空間。
   O***魏:
  陶瓷是一種很好的材料,在很多高端器件里邊都有用到。
   葉***琛:
  傳統的擴散硅壓力傳感器,這個是怎樣的?
   傳感器專家網-楊軍:
  擴散規壓力傳感器的基體是單晶硅,采用離子注入的工藝,做成惠斯通電橋硅敏感單元,做成壓力變送器時,被測壓力通過不銹鋼隔離膜作用于敏感元件,其后的信號處理與陶瓷壓力傳感器是類似的。優點是輸出靈敏度高、過載能力較強,缺點是溫度特性較差,性能要求高時需要做溫度補償,而且封裝工藝相對比較復雜。
  在對高溫、腐蝕、穩定性和可靠性要求較高的工業過程控制,石油化工、液壓閥門、醫療器械、液壓與氣動、傳動控制等眾多領域,陶瓷壓力傳感器有著越來越廣泛的應用發展空間。
  timg(3).jpg
   o***n:
  楊總好!請教一下,關于冷媒壓力傳感器,你認為哪一種比較符合這個應用。
   傳感器專家網-楊軍:
   o***n陶瓷壓力傳感器,本質是惠斯通電橋壓電效應,理論上正壓負壓都可以測量。但是陶瓷壓力傳感器是以陶瓷膜片作為微形變載體,對小量程壓力的測量難度較大,一般多用于100kPa以上的壓力量程,而負壓多數是小量程,所以很少看到用陶瓷壓力傳感器來測負壓的。
   小***:
  問一下專家,陶瓷壓力傳感器的精度是多少,耐溫及壓力沖擊更高多少,我是流量計上用的。
   S***葉:
  比如,安費諾NPC-1210系列,精度±0.5%FSO,工作溫度-40~125℃。
   木***:
  謝謝楊總的知識分享。

  我是做補充一點:陶瓷壓感目前只能做小量程的壓力傳送,大量程的還做不到。

keyword:陶瓷,壓力傳感器

文章來源:http://www.tyqwzp.com

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